数字时代,芯片在我们的生活中随处可见。从手机、电脑、身份证、现金卡等日常用品,到互联网、云计算、大数据等尖端技术,一切都离不开芯片的进步。芯片只有指甲盖大小,上面密密麻麻布满了数万米甚至比头发还细的金属导丝。依靠手工焊接显然是不切实际的。创建这种布线的唯一方法是使用高纯度金属靶进行溅射。罗明浩先生现任浙江宁波江丰电子材料有限公司总工程师,深耕半导体材料装备及工艺研究20余年。主导集成电路大规模生产线关键设备的设计和生产,为我国首创,打破了国外技术垄断。从一名普通电工到全国劳模、最美员工,罗明浩始终以一颗工匠之心磨练自己的工作技能。罗明浩形容自己刚入行时的感受是“迷茫”。出身电工出身的罗明浩先生于2005年加入江丰电子。当时,日本芯片制造所需的超高纯材料和溅射靶材均依赖进口。从原材料到设备,几乎是一张白纸。 “这是我第一次听说‘目标’这个概念,以前也没有听说过。”罗明浩告诉记者。没有专家的指导和信息,他和他的团队只能从头开始,一次研究一项。制造目标需要锻造、轧制和热处理等多种工艺,需要极其复杂的炉温控制。为了保证1摄氏度的温差,罗明浩和他的同事设计了12套制定方案,制作数百张图纸,不断完善炉膛风道方位、风机转动方案、风机叶片选型等,一一攻克了一系列难题。罗明浩先生凭借在电机焊接、机器维修、设备改造等方面的经验,能够满足半导体靶材设备的需求。此后,我们已建造了300多台国产设备,节省了数亿元人民币。目前,他设计的大规模集成电路溅射靶材生产线主要设备生产的产品已成功应用于世界一流公司的先进工艺。 “白葡萄酒可以在国内生产,但白葡萄酒的原材料仍然依赖进口,不难想象会有成本压力。”罗明浩表示,用于制作靶材的金属铝纯度应达到99.9999%,而普通金属一般只能达到至 99.8%。虽然差异只有0.19%,但数值却相差数十倍。 2011年,为了突破原材料的极限,江丰电子在厂内开设了另一个金属铸造和铸造室。位置掌握了,罗明浩开始潜心研究新课题。在铸造过程中,不同金属元素之间存在着复杂的关系。为了在规格范围内找到要素和控制内容之间的平衡,罗明浩和他的同事们到处寻找合适的设备材料。 2015年,我国首套高纯铝冶炼冶炼系统开始运行,再次打破国外技术垄断。即使罗明浩掌握了金属冶炼和冶炼工艺之后,他也没有感觉“完了”。他的心里总有一种“隐痛”无法释怀。为了检测金属是否达到纯度,江峰电子引进大型分析仪器国外的cal设备。然而,当我刚到中国时,我觉得我不习惯当地的环境。该设备复杂、精密且难以维护,因此只有少数外国专家掌握这项技术。聘请专业人员进行维修可能既昂贵又耗时。 “外国人可以,中国人不行吗?”罗明浩继续面对困难,决定攀登更高。他想和最优秀的外国专家一起“尝试”。从此,罗明浩安顿在考场。经过半年的探索和研究,他终于使这种高精度装置恢复到正常水平,使其完全适合中国的现场要求。我们共同成功检测出金属纯度为十亿分之一的微量元素,为满足半导体靶材的极高纯度要求奠定了坚实的基础。 “我一直相信,即使两只手涂了机油,也能托住下巴a的核心。植根于一线的匠心精神,也能带动技术进步。”从材料准备,到镜头制造、分析测试,罗明浩先生从一个对镜头一窍不通的“业余爱好者”成长为业界知名的“罗大师”,用20多年的探索和超越诠释了对工匠精神的执着。 “老师傅们”和“90后”工程师用数字智能重构的生产逻辑。”目前,罗明浩重点培养年轻工程师。“科技自主创新之路不是一个人的百米赛跑,而是一场代代相传的马拉松。”在罗明浩看来,制造业日新月异,需要更多有洞察力、有毅力、有恒心的年轻人将学到的知识和技能转化为生产力。这种传统与创新的令人兴奋的结合不断提高半导体材料在退火过程中的质量。 (经济报记者 蒋琼燕)
(编辑:王菊盆)